半导体检测解决方案专业品牌伟华科技（TWSE：3055）与其旗下数字光学品牌南方科技共同推出业界首创-NK无损缺陷检测系统，采用先进的非线性光学技术对整个SiC进行扫描基质。 ，寻找基板内部致命的晶体缺陷，取代目前高成本的破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方法，可提高良率并有助于改进工艺。 如果每个SiC晶锭需要刻蚀两个衬底，-NK可为拥有100台长晶炉的衬底厂每年节省5600万元的刻蚀损失。

卫华科技携手子公司南方科技发布业界首个无损SiC缺陷检测系统，抢占第三代半导体检测分析市场

需求快速爆发，SiC衬底和组件供不应求，但KOH是高成本痛点

在当前全球环境可持续意识不断增强的趋势下，许多国家都制定了电动汽车的阶段性政策目标。 SiC芯片的需求迅速爆发，特别是电动汽车中使用的高温高压SiC功率半导体组件的生产。 供应远远低于需求。

第三代半导体衬底材料的质量决定了下游芯片的可靠性和性能。 然而，SiC晶体生长缓慢，且衬底晶体缺陷只能通过破坏性KOH蚀刻进行采样和检测，这使得SiC芯片制造工艺成本居高不下。 目前，全球主要基板制造商都在积极投资产能扩张和工艺改进，并加速产业布局以抢占市场份额。 如果基板厂和元件厂能够在制造过程中对材料进行全面的无损检测，不仅可以减少KOH蚀刻中使用的有害化学溶液的使用，而且可以及早发现问题，从而有效改进制造工艺，提高制造效率。产量。 在第三代半导体市场展现卓越优势。

-NK用非线性光学检测替代目前破坏性的KOH蚀刻，降低成本，提高产能

南方科技总经理王家业表示，目前市场上的光学技术只能检测表面非晶缺陷。 -NK系统采用先进的非线性光学技术，将整个基片表面扫描至特定深度，反映晶体结构信息。 提供晶体缺陷密度和分布，让客户能够有效控制基板的质量，使未来生产的元件质量和性能能够更加稳定。

王家业进一步解释道，-NK无损缺陷检测系统专注于稳定有效地发现基板中致命的晶体缺陷（BPD、TSD、Fault）。 与目前将SiC晶锭切片然后取出两片的方法相比，KOH蚀刻方法进行基板检测可以显着节省检测时间和基板成本。 以每台长晶炉每月生产四块晶锭为例，使用-NK后，每块晶锭可节省两块基板的成本（每块6英寸基板按800美元计算），因此可推广。据测算，一台长晶炉每年可节省56万元。 如果一家衬底厂拥有100台长晶炉，每年可节省5600万元！ 此外，-NK还可对同一晶锭加工100台长晶炉。 对%的晶圆进行检测，并进行详细的晶锭分析和批次跟踪分析，协助客户在技术门槛较高的第三代半导体市场加速工艺和产量优化。

阳明交通大学光电工程系讲座教授郭浩忠表示，卫华与南方科技推出的-NK系统将非线性光学技术应用于第三代半导体的检测分析，将有助于突破当前行业的批量生产和工艺改进。 技术瓶颈为产业链发展提供了巨大动力。 希望该系统能够以更加有效、稳定的检测手段，建立行业SiC衬底检测标准，成为行业非线性光学技术的领导品牌，并引领持续的市场应用。 创新与突破。

从设备代理到自有产品，卫华科技在光学检测领域前景广阔。

卫华科技总经理杨耀洲表示，考虑到分销机构的不稳定以及追求更好的利润结构，卫华持续投入研发自有产品，以期推出更贴近客户需求的解决方案。 此次，通过收购南方科技，加快了自身产品的开发进程，让卫华从半导体封装测试设备转向光学检测，首先瞄准了前景广阔的第三代半导体材料缺陷检测，这将是非常有前景的。对客户、员工和投资者都有利。 令人兴奋的新游戏。

杨耀洲进一步指出，伟华与南方科技自经销合作以来，一直秉承共同成长、共同成功的初衷，建立了先进的光学材料测试实验室，让独特的光学测试技术快速应用于行业。 通过客户的反复验证，然后调整产品规格以满足客户的需求。 除了将非线性光学技术应用于新推出的-NK之外，未来我们还将加速南方科技、超材料、硅光子等先进光学探测技术的商业化，并持续加大研发精力，有效整合集团的资源。 充分发挥协同效应。

光电科技产业协会会长台中和表示，很高兴看到两家台湾企业通过互补共赢的组合产生协同效应，为产业创造巨大价值。 卫华与南方科技推出的-NK系统是一个非常具有标志性的技术突破。 它不仅是为全球第三代半导体产业大幅降低成本、提高产能的革命性产品，也让世界看到伟华和南方科技在光学领域的技术实力将在未来的发展中发挥关键作用。未来第三代半导体市场将蓬勃发展。

关于卫华科技

威华科技（股票代码：3055）是大中华区半导体封装测试解决方案专业品牌。 拥有先进的全方位解决方案和产品，为各种半导体工艺和不同产品提供测试、封装、检验、验证等设备销售。 针对应用工程和客户服务需求，合作伙伴包括NI、Osai、AFORE、ERS、、、、、、Toray等全球众多半导体设备领先品牌。 卫华集团凭借专业分工，为半导体、电子制造、通信、汽车电子等科技行业提供优质的综合解决方案。 卫华科技成立于1987年，总部位于台湾新竹。 在上海、苏州、深圳、成都、高雄设有服务据点。

关于南方科技

南方科技成立于2014年8月，创始团队汇聚了光学、材料、物理、信息等跨领域人才，将新颖的光学设计理念引入光学工程领域。 通过先进的光学简化、模块化和数字化的核心概念（光学模块化、数字化和软件的核心概念使困难的光学应用变得更加人性化和简单化），研究人员可以专注于研发工作并改进实验。 设计理念，提高研究效率，缩短研发周期，释放研发创造力，加快研究和产业技术发展进程。 南方科技以“5D显微技术”和“数字光学”两大核心技术为基础，将新的光学概念和技术引入先进材料分析、生物医学成像、显微3D光学检测和数字光学应用四大应用领域。 。 在不同的应用领域，南方致力于研发创新，深刻理解行业痛点，着力解决关键问题。